Автор работы: Пользователь скрыл имя, 07 Сентября 2014 в 14:52, реферат
Под эпитаксиальными системами понимаются тонкие многослойные полупроводниковые структуры (так называемые гетероструктуры или наноструктуры), нанесенные с помощью специальной технологии на твердую монокристаллическую подложку. Прогресс современной электроники и компьютерной техники, полностью базирующихся на полупроводниковых материалах, идет в направлении уменьшения размеров электронных систем, увеличения быстродействия и сокращения энергопотребления. С этой точки зрения, эпитаксиальные системы, характеристические размеры которых лежат в нанометровом диапазоне, являются предельно перспективными. Приборы, созданные на основе гетероструктур (сверхскоростные транзисторы, гетеролазеры, светодиоды), уже получили широчайшее применение в оптических линиях связи, в системах записи и считывания компьютерной информации и др.
Процесс осуществляют при дискретном (ступенчатом) контакте фаз в тарельчатых колоннах или непрерывном контакте фаз в насадочных колоннах.
Непрерывная ректификация. При ректификации в тарельчатых аппаратах (рис. 1.2) исходная смесь в кол-ве F с концентрацией низкокипящего компонента xF поступает (здесь и далее в единицу времени) в среднюю часть колонны; верх. продукт-дистиллят в кол-ве D с концентрацией низкокипящего компонента XD отбирается из дефлегматора, а обедненный этим компонентом остаток в кол-ве W с концентрацией xw отводится в качестве ниж. продукта из куба-испарителя (F, D, W-в моль/ч, Хр, XD, XW-B молярчых долях). Образующиеся в нем пары поднимаются по колонне, контактируя на тарелках от 1 до п со стекающей жидкостью, и поступают в дефлегматор, откуда часть образовавшегося конденсата, наз. флегмой (Ф моль), возвращается в верх. часть колонны.
Рис. 1.5 – Ректификационная установка периодич. действия: 1 -куб; 2-колонна; 3-дефлегматор; 4-делитель потоков; 5-холодильник; 6, 7-сборники
Азеотропная ректификация. Для нек-рых бинарных смесей кривые равновесия у* = f(x) при определенных условиях пересекают диагональ y-x-диаграммы; в точке пересечения составы пара и жидкости одинаковы (азеотропная смесь), вследствие чего подобные смеси обычной ректификацией разделить невозможно. Поэтому к исходной смеси добавляют р-ри-тель-т.наз. разделяющий агент, образующий с одним из компонентов азеотропную смесь, к-рая при ректификации выделяется в виде дистиллята; кубовая жидкость представляет собой высококипящий компонент с миним. содержанием разделяющего агента. Однако его выделение из азеотропной смеси (дистиллята) затруднено. Один из методов, позволяющий осуществить рецикл р-рителя, заключается в применении таких разделяющих агентов, к-рые обладают ограниченной взаимной р-римостью в компонентах, отбираемых в виде дистиллята. При этом благодаря его расслаиванию в разделит. сосуде слой, обогащенный ЛЛК, поступает в среднюю часть регенерац. колонны, откуда в результате ректификации в виде кубового продукта отбирается ЛЛК исходной смеси, а в виде дистиллята-азеотроп, направляемый в разделит. сосуд (рис. 1.6).
Экстрактивную ректификацию используют обычно для разделения смесей близкокипящих компонентов, характеризующихся низкой относит. летучестью а. Разделение таких смесей приходится проводить в колоннах с очень большим числом ТТ и высоким расходом пара из-за необходимости поддерживать большое R. Однако если к исходной смеси добавить практически нелетучий разделяющий компонент, способный повысить a осн. компонентов, разделение можно осуществить в двух ректификац. колоннах. На одну из верх. тарелок первой колонны подается разделяющий агент, к-рый раств. в потоке флегмы и повышает а смеси, в результате чего в виде дистиллята выделяется ЛЛК, а в виде остатка-смесь ТЛК и разделяющего агента. Эта смесь направляется в середину второй колонны, где, в свою очередь, разделяется на ТЛК (дистиллят) и остаток (разделяющий агент), к-рый возвращается в первую колонну.
Рисунок 1.6 – Установка для
азеотропной ректификации: 1 -ректификац.
колонна; 2-регенерац. колонна; 3-дефлегматор;
4-разделит. сосуд;
Р-разделяющий агент
Молекулярная ректификация, наз. также многоступенчатой мол. дистилляцией, используется для разделения смесей малолетучих и термически нестойких в-в. Среди разл. конструкций аппаратов для такой ректификации практич. интерес представляют аппараты лестничного типа, принцип работы к-рых показан на рис. 1.7. Пары, испаряясь с пов-сти жидкости, напр. на ступени А3, конденсируются на наклонной пов-сти В3, а образующийся конденсат стекает в смежную вышестоящую ступень А4. Избыточное кол-во жидкости из ступени А4 переливается в ступень А3 и т.д., т.е. в аппарате осуществляется противоток жидкости и пара.
Рис. 1.7 – Установка для молекулярной ректификации
2 МЕТОД КИРОПУЛОСА
Способ выращивания кристалла методом Киропулоса из расплава или раствор - расплава включает рост кристалла на приманку, зафиксированную в кристалдодержателе и расположенную сверху в центральной точке поверхности расплава, разрастание кристалла в Ростовом тигле при медленном снижении температуры и охлаждении выросшего кристалла, при этом по окончании ростового цикла остался в тигле расплав или раствор - расплав сливают через нагретую с помощью дополнительного нагревателя трубку, расположенную в донной части тигля, а выросший кристалл, хранящий свое положение после окончания ростового цикла, охлаждают в тигле, освобожденном от расплава. Технический результат - предотвращение растрескивания выросший кристалла через термоупругих напряжений, возникающих в момент подъема кристалла, а также деформации платинового тигля расплавом при его медленном охлаждении. Получают кристалл, например, трибората лития размером 150 × 130 × 80 мм, оптически качественная часть которого составляет 80-90% объема вырос кристалла, рисунок 2.1.
Рис. 2.1– Фотография кристалла трибората лития розмером 150 × 130 × 80 мм
Изобретение относится к способу выращивания крупных кристаллов из расплава или раствор - расплава методом Киропулоса, предназначенных для использования в приборах квантовой электроники.
При выращивании кристаллов
методом Киропулоса кристаллизацию начинают
на поверхности расплава с последующим
прорастанием кристалла вглубь расплава.
Расплав готовят в Ростовом платиновом
тигле с исходной сырьевой смеси нагреванием
до температуры плавления. После гомогенизации
расплава в центральную точку поверхности
расплава помещают закреплен на охлаждаемом
стержни начальный кристалл . На границе
раздела : кристалл - расплав за счет отвода
тепла через стержень и медленного снижения
температуры создается переохлаждения
, и на затравку растет монокристалл. Вырос
кристалл поднимают (автоматически или
вручную) над расплавом. Первоначально
метод был применен для выращивания галогенидов
щелочных металлов. В последнее время
метод успешно применен для роста кристаллов
из раствор - расплавных сред.
При выращивании кристаллов
методом Киропулоса путем роста кристалла
на приманку, зафиксированную в кристаллодержатель
и расположенную сверху в центральной
точке поверхности расплава, разращивания
кристалла при медленном снижении температуры,
подъема кристалла из расплава или раствор
- расплава и охлаждения вырос кристалла,
значительная часть растущего кристалла
находится под поверхностью расплава,
способствует формированию крупных кристаллов
. Однако подъем кристалла с р - расплава
для его охлаждения связан с целым рядом
трудностей.
Во-первых, возможно растрескивание затравки в подзатравочной области, что приводит к потере кристалла из-за падения его в раствор - расплав.
Во-вторых, при выращивании кристаллов методом Киропулоса над расплавом необходимо создавать перепад температуры . При перемещении кристалла в эту область возникают термоупругости напряжения, которые зачастую приводят к растрескиванию кристалла и уменьшают выход материала, пригодного для изготовления оптических элементов .
В-третьих, при медленном охлаждении поднятого кристалла на поверхности остаточного раствор - расплава начинается спонтанная кристаллизация, что приводит к деформации тигля. Кроме того, растущий кристалл ограничен стенками тигля и, в случае асимметричного роста, возможен контакт кристалла со стенками тигля, что делает невозможным его подъем над расплавом. В кристалле, охлаждаемом совместно с расплавом, образуются многочисленные трещины вследствие сильного давления кристаллизуется расплава. Задачей изобретения является получение качественных объемных кристаллов.
Технический результат в том, что изобретение позволяет избежать растрескивания кристалла через термоупругие напряжения, возникающих в момент подъема кристалла, а также деформацию платинового тигля расплавом при его медленном охлаждении.
Кроме того, в предложенном способе можно использовать более низкие тигле, так как отсутствует необходимость в верхнем пространстве над раствор - расплав, предназначенном для подъема кристалла при его охлаждении в известном способе. Это дает возможность создать более стабильные тепловые условия в зоне роста кристалла. Отсутствие деформации стенок тигля позволяет использовать для выращивания кристаллов более тонкостенные тигле. Эти два фактора делают процесс выращивания кристалла более эффективным из-за значительного уменьшения веса дорогих платиновых контейнеров.
Для достижения технического
результата по окончании ростового процесса
остался в тигле расплав или раствор –
расплав сливают через нагретую с помощью
дополнительного нагревателя трубки,
расположенную в донной части тигля, а
вырос кристалл, который сохраняет свое
положение после окончания ростового
цикла , охлаждают в освобожденном от расплава
тигле. С патентов известно, по сути, о
сливе расплава через донную часть ростового
тигля. Однако в описанных патентах в Ростовом
тигле сделаны отверстия для удаления
в процессе роста кристалла, излишнего
количества расплава образуется из-за
разницы плотностей жидкой и твердой фаз
кристаллизуется материала, так как при
плотности жидкой фазы , большей , чем твердой
фазы, кристаллизация идет с увеличением
объема .
В предлагаемом решении установлена в
донной части ростового тигля нагретая
трубка предназначена для слива раствор
- расплава, оставшийся после роста кристалла.
Удаление остаточного раствор - расплава
позволяет эффективно добывать выросли
кристаллы из тигля после окончания ростового
цикла, обеспечивает получение качественных
объемных кристаллов без растрескивания,
исключая деформацию тигля раствор - расплав
при медленном охлаждении кристалла.
Рост крупных кристаллов методом Киропулоса с предлагаемым приемом охлаждения вырос кристалла продемонстрирован на примере кристаллов трибората лития ( LiB3O5 ) . Однако он может быть применен для любых кристаллов, выращиваемых в объеме расплава или раствор - расплава.
Пример. В платиновый ростовой тигель 1 диаметром 170 мм загружают шихту для получения 6 кг готового расплава 2 для выращивания LiB6O5. Соотношение компонентов флюса 2Li2O : 3В2О3 : 3МоО3 позволяют выращивать кристаллы весом 1320 После гомогенизации раствор - расплава в течение 5-7 суток в печь 3 опускают приманку LiB3O5 4, зафиксированную в кристаллодержателя 5, и определяют температуру насыщения по скорости оплавления затравки после ее касания поверхности расплава. Т.к. раствор - расплав электропроводящий, то момент столкновения затравки с поверхностью расплава устанавливают по падению сопротивления в электроцепи тигель - раствор - расплав - пыл - шток . При касании затравкой поверхности расплава цепь замыкается и сопротивление уменьшается на 2-3 порядка . После затравленные температуру снижают , охлаждая систему со скоростью 1 -2 град / сутки. По окончании ростового процесса включают встроенный дополнительный нагреватель 6 , разогревая платиновую трубку 7 в донной части ростового тигля 1 до появления первых капель расплава. Оптимальная скорость исходящего расплава составляет , примерно 1 кап / с. Раствор - расплав стекает в дополнительный платиновый тигель 8 размером 150 × 100 мм 2 . Процедуру слива раствор - расплава с момента включения встроенного нагревателя осуществляют в течение 1,5-2 часа. Получают кристалл трибората лития размером 150 × 130 × 80 мм ( Фиг.2 ) , оптически качественная часть которого составляет 80-90 % объема вырос кристалла с возможностью изготовления нелинейно - оптического элемента диаметром 60-70 мм и толщиной 15-10 мм для преобразования лазерного излучения с длиной волны 1064 нм во вторую гармонику.
Способ выращивания кристалла методом Киропулоса из расплава или раствор - расплава, включающий рост кристалла на приманку, зафиксированную в кристаллодержатель и расположенную сверху в центральной точке поверхности расплава, разращивания кристалла в Ростовом тигле при медленном снижении температуры и охлаждения выросшего кристалла , отличающийся тем, что по истечении ростового цикла оставшийся в тигле расплав или раствор - расплав сливают через нагретую с помощью дополнительного нагревателя трубку, расположенную в донной части тигля, а выросший кристалл, хранящий свое положение после окончания ростового цикла, охлаждают в тигле, освобожденном от расплава.
Информация о работе Сущность эпитаксиальной технологии. Дистилляция. Ректификация