Автор работы: Пользователь скрыл имя, 11 Октября 2012 в 22:22, реферат
В настоящее время вакуумную технику широко используют в различных отраслях промышленности (электротехнической, электронной, радиотехнической, химической, металлургической, медицинской, пищевой и др.) для осуществления технологических процессов или обеспечения работы установок различного назначе¬ния (термообработки, переплава металлов и сплавов, нанесения тонких пленок, электронно-лучевой и диффузионной сварки, выпарных аппаратов, мясе-спектрометрии и др.), а также в крио-генных установках и установках для имитации космических условий, ускорителях элементарных частиц.
ВВЕДЕНИЕ 2
1 ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ. ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА 3
2 ВАКУУМНЫЕ ПОРШНЕВЫЕ НАСОСЫ 4
3 ПЛАСТИНЧАТО-РОТОРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ 9
4 ДВУХРОТОРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ 13
4.1. ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ С ВНЕШНИМ СЖАТИЕМ 13
4.2 ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ С ЧАСТИЧНЫМ ВНУТРЕННИМ СЖАТИЕМ 15
5. ЖИДКОСТНО-КОЛЬЦЕВЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ 17
6 ПЛУНЖЕРНЫЕ НАКУУМНМЕ НАСОСЫ 21
7 МОЛЕКУЛЯРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ 23
8. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ 26
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 28
Масс-спектрометрические измерения парциальных давлений в откачиваемом объеме и экспериментальные данные турбомолекулярных насосов при стендовых испытаниях и в реальных условиях их работы на откачных постах свидетельствуют об их высоких эксплуатационных характеристиках и, в частности, об обеспечении ими безмасляного откачивания. При эксплуатации этого насоса ТМН, особенно при его остановке и последующем пуске, необходимо для обеспечения чистоты вакуума соблюдать некоторые меры предосторожности, заключающиеся в предотвращении проникновения паров углеводородов через остановленный насос в откачиваемый объем. Проникновение паров масла из форвакуумного насоса часто удается предотвратить напуском во всасывающую полость насоса осушенного воздуха. При пуске, через несколько минут после включения, когда вращающийся ротор насоса преграждает возможное проникновение паров углеводородов во всасывающую полость насоса, открывается клапан, установленный на трубопроводе, соединяющем форвакуумный насос с ТМН. После достижения номинальной частоты вращения ротора ТМН всасывающая полость насоса соединяется с откачиваемой полостью.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
79