Автор работы: Пользователь скрыл имя, 04 Июня 2013 в 19:57, курсовая работа
Термин «наноэлектроника» относительно новый и пришел на смену более привычному для старшего поколения термину «микроэлектроника», под которым понимали передовые для 60-х годов технологии полупроводниковой электроники с размером элементов порядка одного микрона.