Технология получения монокристаллического слитка InP n-типа

В данной работе произведён обзор научно-технической литературы по выращиванию фосфида индия. В работе выполнены инженерно-технологические расчеты материального баланса установки получения монокристалла InP.
Разработана технологическая схема выращивания фосфида индия n – типа, содержащего Тe в качестве легирующей примеси.
Также в разделе инженерных решений осуществляется обоснование выбора метода выращивания.

Реферат 4
Введение 5
1 Литературный обзор 6
1.1 Структура фосфида индия 6
1.2 Физико-химические и электрические свойства 7
1.3 Методы получения поликристаллического фосфида индия 9
1.3.1 Метод горизонтальной направленной кристаллизации (ГНК). 9
1.3.2 Метод горизонтальной зонной плавки (ГЗП) 11
1.3.3 Метод кристаллизации расплава нестехиометрического состава в градиенте температуры 12
1.3.4 Синтез фосфида индия в квазигерметичных реакторах 13
1.3.5 Совмещенный процесс 14
1.4 Выращивание монокристаллов фосфида индия 15
1.4.1 Получение высокочистых нелегированных монокристаллов фосфида индия 20
1.4.2 Производство легированных монокристаллов фосфида индия 21
1.4.3 Получение мало- и бездислокационных монокристаллов фосфида индия 22
2 Инженерные решения 25
3 Технологический раздел 28
3.1 Описание технологической схемы получения монокристалла InP 28
3.2 Расчет материального баланса установки получения монокристалла n-InP 30
3.2.1 Расчёт времени цикла выращивания монокристалла InP 30
3.2.2 Расчёт единичной загрузки 33
3.2.3 Подбор тигля 37
3.2.4 Расчёт массы флюса B2O3. 38
3.2.5 Расчёт материального баланса процесса кристаллизации по основным компонентам. 38
3.2.6 Расчет распределения примеси по длине слитка и выхода годного продукта. 41
3.2.7 Расчет скорости производства и коэффициента загрузки оборудования 43
3.2.8 Расчет основных исходных компонентов на заданную программу выпуска 44
4 Охрана труда и окружающей среды 47
4.2 Защита от вредных (ядовитых) веществ 48
4.3 Защита от электрического тока 50
4.4 Правила безопасной работы с газами 50
Заключение 52
Список используемых источников 53