Линия задержки на поверхностных акустических волнах

 

 

 

Для изготовления структур ЛЗ на ПАВ применяется прямой метод контактной фотолитографии. В качестве фоторезиста применяется следующие позитивные фоторезисты – ФП-383, ФП – РН – 7, ФП – 333, которые тщательно фильтруются и подвергаются скоростному центрифугированию .  Толщина наносимого слоя фоторезиста должна составлять не более 0,4-0,8 мкм. После осажденные пленки фоторезиста подвергаются сушке в термокамере типа ТК-1 или сушильном шкафу. При совмещении фотошаблона с звукопроводом при экспонировании применяется метод контактного совмещения, в качестве источника излучения используются ртутнокварцевые лампы высокого и сверхвысокого давления типов ДРШ-100, ДРШ-250, ДРШ-500. Проявление участка фоторезиста ФП-383 и ФП-РН-7 осуществляется в 2-3 % водном растворе тринатрифосфата  с глицерином. Щелочи пригодны для проявления фоторезиста ФП-383.

Звукопровод с проявленным фоторезистом после тщательно промывается  водой и потом сушится на центрифуге, температура сушки при 90 ºС – 15 минут, затем при  140 ºС – 30 минут.

Металлостеклянный корпус имеет металлические основание и крышку, а изоляция выводов от основания осуществляется за счет пайки стеклом. Технологичность конструкции такого корпуса обусловлена использованием высокопроизводительных методов холодной штамповки при изготовлении деталей корпуса и хорошо обработанных методов сварки при герметизации. Изготовление стеклянных изоляторов – индивидуальных в виде миниатюрных втулок-бус – легко поддается автоматизации. Сборка основания с выводами и образование металлостеклянных спаев осуществляется в групповых графитовых кассетах путем термической обработки в конвейерных печах непрерывного действия. Выводы герметизируют с помощью спая «металл-стекло».В данном случае выбрано стекло  С48-2.

 

 

                                     

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6. ВЫВОД

В курсовом проекте был произведен расчет основных параметров линии задержки на поверхностных акустических волнах, учитывая заданные характеристиками  были разработаны основные элементы ЛЗ: звукопровод, ВШП. На основании этого построила сборочный чертеж. То есть, разработана конструкция ЛЗ с определенными параметрами, размерами и материалами элементов.

Вывод: самостоятельно разработала и изучила ЛЗ на ПАВ. Расширила свои знания по технологии материалов ЛЗ и по материаловедению. 
Список используемой литературы:

 

1.Свитенко В.И. Электрорадиоэлементы. Курсовое проектирование, М., 1987.

.

2.Рычина Т.А. Электрорадиоэлементы, М., 1975.

 

3. Высоцкий Б.Ф., Дмитриева В.В. Интегральные пьезоэлектрические устройства фильтрации и обработки сигналов.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

№ строки

Фор- мат

Обозначение

Наименование

Кол. листов

№ экз.

Прим.

Документы

Текстовые

КП 6.050902.06 ПЗ

Пояснительная записка

Графические

А4

КП 6.050902.06 . СБ

Сборочный чертеж

А4

КП 6.050902.06 .Д2

Крышка

А4

КП 6.050902.06 .Д1

Основание

А4

КП 6.050902.06

Топология

Материалы

Пьезокварц st-среза

Ковар

Бронза

Припой ПОС - 61

Черный воск

клей Д - 9

3л 999,9 0,04мм

стекло С48-2

КП 7.091001.03.ПЗ

Многоотводная линия задержки

Лит.

Масса

Масштаб

Изм.

Лист

№ докум.

Подп.

Дата

Разраб.

Коршунова Н.В

Пров.

Иванов А.Н

Т, контр.

Лист 22

Листов 26

СТИ РЭА-10 д

Н. контр.

Утв.